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   2018年我們正式推出了四探針電阻率測(cè)量方法，該方法細(xì)分為四種，具體包括：器件電阻電源內(nèi)阻測(cè)量、四探針方塊電阻測(cè)量、線狀材料電阻率測(cè)量、刀型探頭方塊電阻測(cè)量。
   在RST系列電化學(xué)工作站中，型號(hào)為RST5070F和RST5210F的電化學(xué)工作站具有四探針電阻率測(cè)試方法。四探針電阻率測(cè)試方法是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校及各類科研部門。
   該測(cè)試方法與電化學(xué)工作站中的其他方法一樣，軟件界面友好、參數(shù)設(shè)置簡(jiǎn)單明了。啟動(dòng)測(cè)試后，儀器按設(shè)定的參數(shù)自動(dòng)連續(xù)采集數(shù)據(jù)，在屏幕上實(shí)時(shí)顯示電阻-時(shí)間曲線。測(cè)試結(jié)束后，根據(jù)電阻形態(tài)參數(shù)自動(dòng)換算成電阻率及電導(dǎo)率，無需人工計(jì)算。配備的專用電化學(xué)工作站軟件在電腦上運(yùn)行，可隨時(shí)顯示、保存、打印數(shù)據(jù)和圖形，以備存查。
   本方法的設(shè)置參數(shù)有：電阻形態(tài)及尺寸、探針形狀及間距、激勵(lì)電流及可測(cè)電阻范圍、預(yù)熱時(shí)間、樣點(diǎn)間隔、樣點(diǎn)數(shù)量、被測(cè)器件電動(dòng)勢(shì)等。
   測(cè)試工具可根據(jù)被測(cè)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目的要求選購，配置不同的測(cè)試工具可滿足不同材料的測(cè)試要求。
   本儀器的四探針電阻率測(cè)量方法適用于分立電阻、線狀電阻、面狀電阻、塊狀電阻、直流器件內(nèi)阻。也就是說，可測(cè)量導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料的軸向電阻率、徑向電阻率、擴(kuò)散層薄膜電阻率。本儀器具有自動(dòng)電位扣除功能，因此可測(cè)量含源直流器件內(nèi)阻。