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品牌：RST，產(chǎn)品型號(hào)：RST5070F、RST5210F

在RST系列電化學(xué)工作站中，型號(hào)為RST5070F和RST5210F的電化學(xué)工作站具有四探針電阻率測(cè)試方法。四探針電阻率測(cè)試方法是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校及各類科研部門。

該測(cè)試方法與電化學(xué)工作站中的其他方法一樣，軟件界面友好、參數(shù)設(shè)置簡(jiǎn)單明了。啟動(dòng)測(cè)試后，儀器按設(shè)定的參數(shù)自動(dòng)連續(xù)采集數(shù)據(jù)，在屏幕上實(shí)時(shí)顯示電阻-時(shí)間曲線。測(cè)試結(jié)束后，根據(jù)電阻形態(tài)參數(shù)自動(dòng)換算成電阻率及電導(dǎo)率，無(wú)需人工計(jì)算。配備的專用電化學(xué)工作站軟件在電腦上運(yùn)行，可隨時(shí)顯示、保存、打印數(shù)據(jù)和圖形，以備存查。

本方法的設(shè)置參數(shù)有：電阻形態(tài)及尺寸、探針形狀及間距、激勵(lì)電流及可測(cè)電阻范圍、預(yù)熱時(shí)間、樣點(diǎn)間隔、樣點(diǎn)數(shù)量、被測(cè)器件電動(dòng)勢(shì)等。

測(cè)試工具可根據(jù)被測(cè)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目的要求選購(gòu)，配置不同的測(cè)試工具可滿足不同材料的測(cè)試要求。

本儀器的四探針電阻率測(cè)量方法適用于分立電阻、線狀電阻、面狀電阻、塊狀電阻、直流器件內(nèi)阻。也就是說(shuō)，可測(cè)量導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料的軸向電阻率、徑向電阻率、擴(kuò)散層薄膜電阻率。本儀器具有自動(dòng)電位扣除功能，因此可測(cè)量含源直流器件內(nèi)阻。

100MΩ

1Ω圖

1mΩ圖

0.1mΩ圖

參數(shù)及技術(shù)指標(biāo)：

1. 電阻形態(tài)：分立電阻、線狀電阻、面狀電阻、塊狀電阻、直流器件內(nèi)阻。

2. 電阻范圍：0.1mΩ～1GΩ

3. 電阻率范圍：10-6～106Ωcm

4. 激勵(lì)電流范圍：10nA、100nA、1μA，10μA，100μA，

1mA，10mA，100 mA、200 mA、500 mA

5. 電流精度：±0.1%量程

6. 電阻精度：≤0.3%量程

7. 顯示數(shù)據(jù)：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、電流、電壓、探針形狀、探針間距、材料尺寸 。

8. 測(cè)試方式：恒電流多脈沖電阻時(shí)間曲線

9. 被測(cè)器件電動(dòng)勢(shì)：無(wú)源或者E＜5mV，E＜1.5V，E＜4.5V，E＜9.5V。

10. 工作電源：AC 220V±10% ，50Hz， 功 耗<50W。

11. 整機(jī)不確定性誤差：≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）

12. 選購(gòu)：（a）方形探頭；（b）直線形探頭；（c）測(cè)試平臺(tái)。

13.探針材質(zhì)選購(gòu)：（a）碳化鎢針；（b）白鋼針；（c）鍍金磷銅半球形針。